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一种高密度导电通道基板及其制造方法 专利
申请日期: 2011-05-19, 公开日期: 2012-11-20
作者:  于中尧
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一种高密度凸点基板及其制造方法 专利
申请日期: 2011-05-19, 公开日期: 2012-11-20
作者:  于中尧
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封装制作晶圆TSV过程中所采用的腐蚀槽和工艺方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101840856A, 申请日期: 2010-09-22, 公开日期: 2010-09-22
陈骁; 罗乐; 徐高卫; 袁媛
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采用BCB辅助键合以实现穿硅通孔封装的制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101834159A, 申请日期: 2010-09-15, 公开日期: 2010-09-15
陈骁; 罗乐; 徐高卫; 袁媛
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06
微机械推拉式可调谐光栅 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101493574, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
李铁; 明安杰; 周萍; 刘延祥; 周宏; 王翊; 王跃林
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微机电系统芯片尺寸气密封装垂直互连结构及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1935630, 申请日期: 2007-03-28, 公开日期: 2007-03-28
王玉传; 罗乐
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1570651, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2005-01-26
李昕欣; 程保罗; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2012/01/06
Optical waveguide coupler and method for producing same 专利
专利号: US6501885, 申请日期: 2002-12-31, 公开日期: 2002-12-31
作者:  HOLZNER, RETO;  BRUNSCHWILER, THOMAS;  WAGNER, JOSEF;  DOMMANN, ALEX;  MUNDLE, ANDREAS
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深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1376925, 申请日期: 2002-10-30, 公开日期: 2002-10-30
李昕欣; 宋朝辉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/06
一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1359017, 申请日期: 2002-07-17, 公开日期: 2002-07-17
李铁; 杨艺榕; 王跃林
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