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力学研究所 [2]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2010 [1]
2008 [1]
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采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2008101022712, 申请日期: 2010-07-14, 公开日期: 2012-12-28
作者:
靳刚
;
孟永宏
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浏览/下载:145/0
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提交时间:2012/12/28
入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2004100382619, 申请日期: 2008-02-20, 公开日期: 2012-12-28
作者:
孟永宏
;
靳刚
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/12/28
成像椭偏仪的系统参数校准...
专利
专利号: ZL2014108105..., 公开日期: 2017-04-05
作者:
曾爱军
;
胡仕玉
;
袁乔
;
顾...
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提交时间:2018/12/28
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