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采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2008101022712, 申请日期: 2010-07-14, 公开日期: 2012-12-28
作者:  靳刚;  孟永宏
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入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2004100382619, 申请日期: 2008-02-20, 公开日期: 2012-12-28
作者:  孟永宏;  靳刚
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成像椭偏仪的系统参数校准... 专利
专利号: ZL2014108105..., 公开日期: 2017-04-05
作者:  曾爱军;  胡仕玉;  袁乔;  顾...
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