| 成像椭偏仪的系统参数校准... | |
| 曾爱军; 胡仕玉; 袁乔; 顾... | |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机... |
| 专利号 | ZL2014108105... |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 公开日期 | 2017-04-05 |
| 申请日期 | 2014-12-19 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/31248]  |
| 专题 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾爱军,胡仕玉,袁乔,等. 成像椭偏仪的系统参数校准.... ZL2014108105.... |
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