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紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-27, 公开日期: 2012-08-29
邓文渊; 金春水; 靳京城; 常艳贺
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一种深紫外光学薄膜处理装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
邓文渊; 金春水; 常艳贺; 靳京城
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ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-05-02, 公开日期: 2012-08-29
邓文渊; 金春水; 靳京城
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辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-28, 公开日期: 2012-08-29
邓文渊; 金春水; 常艳贺; 靳京城
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用于两种以上波长激光交替输出的输出窗口切换装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-02-15, 公开日期: 2012-02-15
邵春雷; 郭劲; 杨贵龙; 耿玉民; 李殿军
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用于两种波长激光交替输出的输出窗口切换装置 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-12
邵春雷; 郭劲; 杨贵龙; 耿玉民; 李殿军
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