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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置 专利 申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08 作者:  任春生;  张家良;  王德真;  王友年 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24