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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [1]
2008 [1]
学科主题
Engineerin... [2]
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学科主题:Engineering, Electrical & Electronic
专题:上海微系统与信息技术研究所
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A non-isothermal model for squeeze film damping of rarefied gas
期刊论文
2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2009, 页码: 213-216
Yang, H
;
Cheng, HT
;
Dai, B
;
Li, XX
;
Wang, YL
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提交时间:2011/12/17
POLYSILICON
REGIME
MEMS
Rotational driven RF variable capacitors with post-CMOS processes
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2008, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 195-197
Gu, L
;
Li, XX
收藏
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提交时间:2011/12/17
LARGE TUNING RANGE
MEMS
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