QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于悬臂梁结构的微机电系统器件及其可靠性研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 朱银芳 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/06/27 用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构 期刊论文 功能材料与器件学报, 2003, 卷号: 9, 期号: 3, 页码: 319-322 作者:  宁瑾 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/23 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-17 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2014/10/28 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-18 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 朱银芳; 杨富华 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2014/11/17