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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [1]
2001 [1]
学科主题
半导体材料 [2]
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学科主题:半导体材料
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氢稀释对非晶硅碳(a-SiC:H)合金薄膜生长和光学特性的影响
期刊论文
中国科学. E辑,技术科学, 2004, 卷号: 34, 期号: 0, 页码: 5
胡志华
;
廖显伯
;
刁宏伟
;
孔光临
;
曾湘波
;
徐艳月
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提交时间:2010/11/23
低碳含量a-Si_(1-x)C_x∶H薄膜的化学键结构
期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 599
王燕
;
岳瑞峰
;
韩和相
;
廖显伯
;
王永谦
;
刁宏伟
;
孔光临
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提交时间:2010/11/23
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