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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2002 [1]
1999 [1]
学科主题
半导体化学 [2]
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学科主题:半导体化学
内容类型:期刊论文
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窄条宽化学气相沉积选区生长InP系材料波长调制的研究
期刊论文
中国激光, 2002, 卷号: A29, 期号: 9, 页码: 832-836
作者:
王圩
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提交时间:2010/11/23
ECR Plasma CVD法淀积介质膜技术在半导体光电器件中的应用
期刊论文
半导体学报, 1999, 卷号: 20, 期号: 9, 页码: 837
茅冬生
;
谭满清
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提交时间:2010/11/23
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