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科研机构
上海光学精密机械研... [11]
内容类型
期刊论文 [11]
发表日期
2009 [1]
2008 [1]
2007 [4]
2006 [1]
2005 [3]
1997 [1]
更多...
学科主题
光学薄膜 [11]
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学科主题:光学薄膜
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Thermal-mechanical modeling of nodular defect embedded within multilayer coatings
期刊论文
j. vac. sci. technol. a, 2009, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 183, 186
Ling Xiulan
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:644/138
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提交时间:2009/09/22
dielectric thin films
evaporation
high-temperature effects
laser beam effects
optical multilayers
thermal stresses
thermomechanical treatment
HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1168/161
  |  
提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
Effect of SiO2 protective layer on the femtosecond laser-induced damage of HfO2/SiO2 multilayer high-reflective coatings
期刊论文
appl. surf. sci., 2007, 卷号: 253, 期号: 7, 页码: 3450, 3454
Yuan Lei
;
Zhao Yuanan
;
Wang Congjuan
;
贺洪波
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:565/84
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提交时间:2009/09/22
femtosecond laser
SiO2 protective layer
HfO2/SiO2
HR coating
laser-induced damage
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 300, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1009/152
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提交时间:2009/09/22
软X射线
多层膜
扩散屏障层
Mo/Si
反射率
模拟
薄膜材料对TiO2基薄膜激光损伤阈值的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 9, 页码: 556, 558
姚建可
;
范正修
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:591/106
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提交时间:2009/09/22
Composite films
Composite materials
Electron beams
Evaporation
Laser damage
Optical films
Optical properties
Phase transitions
Polycrystalline materials
Sintering
Structural properties
Surface defects
Surface properties
Surface roughness
Thin fi
8.0nm反射式偏振膜的设计和制备
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2049
吕超
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1044/257
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提交时间:2009/09/22
多层膜
Multilayer
软X射线
Soft X-ray
偏振
Polarization
准布儒斯特角
Bruster angle
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
期刊论文
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:836/81
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提交时间:2009/09/22
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率
全电介质脉宽压缩光栅的研究进展
期刊论文
激光与光电子学进展, 2005, 卷号: 42, 期号: 1, 页码: 32, 36
孔伟金
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1073/115
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提交时间:2009/09/22
衍射光栅
inertial confinement fusion
脉宽压缩
chirped-pulse amplification system
脉冲压缩
all dielectric pulse compressor gratings
啁啾脉冲放大
dielectric film system
超短脉冲
激光器
电介质
多层膜
相互作用
物质
ZrO2/SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3312, 3316
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:902/166
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提交时间:2009/09/22
残余应力
ZrO2/SiO2 multilayers
SiO2
residual stress
ZrO2
periods of repeating thickness
多层膜
周期数
组合
膜厚
基底材料
X射线衍射技术
玻璃基底
电子束蒸发
光学干涉仪
应力值
沉积条件
曲率半径
测量分析
石英基底
变化趋势
结构应变
结晶程度
相互作用
折射率
熔石英
压应力
微结构
High-reflectance 193 nm Al2O3/MgF2 mirrors
期刊论文
appl. surf. sci., 2005, 卷号: 249, 期号: 1~4, 页码: 157, 161
Shang SZ
;
邵建达
;
Liao CY
;
Yi K
;
范正修
;
Chen L
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浏览/下载:643/149
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提交时间:2009/09/22
optical coatings
193 nm
HR mirrors
Al2O3
MgF2
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