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科研机构
上海光学精密机械研... [28]
内容类型
期刊论文 [28]
发表日期
2008 [9]
2007 [6]
2006 [8]
2005 [5]
学科主题
光学薄膜 [28]
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学科主题:光学薄膜
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真空紫外光学薄膜及薄膜材料
期刊论文
激光与光电子学进展, 2008, 卷号: 45, 期号: 1, 页码: 57, 64
薛春荣
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1516/220
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提交时间:2009/09/22
HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1168/161
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
低损耗193nm反射膜的设计
期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 397
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1072/199
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提交时间:2009/09/22
反射膜
Absorption loss
电场强度
Electricity field intensity
吸收损耗
High reflectance
散射损耗
HR coating
HR mirror
Outer layer
Scattering loss
低损耗193nm增透膜
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1946, 1950
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1216/178
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提交时间:2009/09/22
193 nm
AR coatings
optical loss
reflection
SiO_2薄膜折射率的准确拟合分析
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 760, 763
王胭脂
;
张伟丽
;
范正修
;
黄建兵
;
晋云霞
;
姚建可
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1306/128
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提交时间:2009/09/22
词薄膜
SiO2折射率
包络法
准确拟合
Accurately fitting
Envelop method
Optical-
Refractive index of SiO
2
Thin films
沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 396, 400
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:862/126
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Absorbance
氟化镁
Laser induced damage threshold
光学损耗
MgF2 films
吸收
Reflectance spectra
损伤阈值
Resistance boat evaporation
Transmittance spectra
高反射率193nm反射膜的实现
期刊论文
应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 19
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1154/133
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提交时间:2009/09/22
193nm
反射膜
反射率
光学稳定性
LiB3O5晶体上四倍频增透膜设计
期刊论文
光子学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 1169, 1174
谭天亚
;
邵建达
;
范正修
;
吴炜
;
郭永新
;
韩宇
收藏
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浏览/下载:1174/183
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Anti-reflection coating (ARC)
四倍频增透膜
Antireflection (AR)
矢量法
LBO晶体
容差分析
高性能193nm反射膜的制备与误差分析
期刊论文
应用激光, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 207
尚淑珍
;
徐山清
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:900/173
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提交时间:2009/09/22
193nm
反射膜
误差分析
吸收
散射
薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:1111/176
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提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO2 thin film
残余应力
residual stress
膜厚
thin film thickness
电子束蒸发
electron beam evaporation
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