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上海光学精密机械研... [11]
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学位论文 [11]
学科主题
光学工程 [11]
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光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究
学位论文
作者:
马健
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浏览/下载:1367/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机
lithography machine
光瞳整形
pupil shaping
变焦系统
zoom system
轴锥镜组
axicon group
光学设计
optical design
用于光学玻璃超光滑表面抛光的铈基抛光液的研究
学位论文
作者:
梁尚娟
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
超光滑表面抛光
Ultra-smooth surface polishing
光学元件
Optical elements
纳米氧化铈
Nano-CeO2
抛光性能
Polishing performance
电解质
Electrolyte
高功率光纤光栅的刻写及其特性研究
学位论文
作者:
王迪
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浏览/下载:71/0
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提交时间:2018/12/26
双包层高功率光纤光栅
Fiber Bragg Grating in Double-Clad fiber
相位掩模板法
Phase Msak Method
模式耦合
Modal Coupling
光热效应
Photothermal effect
损耗
Loss
相变存储材料光学特性的超快多阶调制研究
学位论文
作者:
温帅
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提交时间:2018/12/26
相变材料
phase-change material
皮秒激光
picosecond laser pulse
多阶编码
multi-level coding
并行调控
parallel modulation
在线可更换模块(LRU)调平与对接关键技术研究
学位论文
作者:
王世魏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2018/12/26
混联机构
Hybrid mechanism
调平与对接
Leveling and docking
同时建图与定位
SLAM
二维码定位
Positioning by Qr-code
光学元件波前分布对光束质量的影响研究
学位论文
作者:
徐林波
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/26
波前畸变
Wavefront aberration
数值模拟
Simulation calculation
光束质量
Beam quality
光路设计
Optical layout design
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
桌面式无掩膜光刻系统的研制
学位论文
作者:
梁鑫
收藏
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2018/12/26
桌面式光刻系统
Maskless lithography
小孔检焦系统
automatic tracking
自动跟踪系统
flatness measurement
运动平整度检测
空间冷原子钟相关物理与技术研究
学位论文
作者:
项静峰
收藏
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提交时间:2018/12/26
冷原子钟
Cold Atom Clock
光学系统
Optical System
激光稳频
Frequency Stabilization of Laser
磁光阱
Magneto-optical Trap
弹性碰撞
Elastic Collision
基于激光直写系统的衍射光栅制备
学位论文
作者:
王津
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/12/26
激光直写系统
direct laser writing system
衍射光栅
diffraction gratings
旋转达曼光栅技术
rotating Dammann grating technology
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