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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高密度光栅中的简化模式方法 学位论文 作者:  项长铖 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/12/26 简化模式方法  Simpified modal method  衍射光栅  Diffraction grating  谐振  Resonance  光学测量  Optical measurement   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：185/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   相移光纤光栅的光热效应研究 学位论文 作者:  丁孟 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2018/12/26 相移光纤光栅  Phase-shifted Fiber Bragg gratings  光热效应  Photothermal Effects  激光器  Laser  损耗  Loss  滤波器  Wavelength Filtering Devices   镀金脉宽压缩光栅的研制工艺和单脉冲飞秒激光损伤机理研究 学位论文 作者:  王磊磊 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/12/26 啁啾脉冲放大  Chirped Pulse Amplification  镀金脉宽压缩光栅  Gold Pulse Compression Grating  飞秒损伤  Femtosecond Laser-induced Damage   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   基于激光直写系统的衍射光栅制备 学位论文 作者:  王津 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/12/26 激光直写系统  direct laser writing system  衍射光栅  diffraction gratings  旋转达曼光栅技术  rotating Dammann grating technology   大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统 学位论文 作者:  张栋 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2018/12/26 全息光栅  holographic grating  干涉条纹  interference fringe  相位锁定  phase locking  光栅周期  grating period