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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：325/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   多单频高功率光纤激光放大器理论和实验研究 学位论文 作者:  赵翔 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光纤激光器，多单频信号光，光纤放大器，受激布里渊散射，偏振控制，光束质量  fiber lasers, multi-single-frequency laser, fiber amplifier, stimulated Brillouin scattering, polarization control, beam quality   皮秒激光诱致多层介质膜光栅损伤研究 学位论文 作者:  郝艳飞 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/12/26 多层介质膜光栅  Pulse compressing grating  激光损伤  Laser damage  皮秒激光  Picosecond lasers  损伤增长  Damage growth  污染物  contaminant   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：271/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)   重复频率固体激光放大器热效应研究 学位论文 作者:  汪超 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 重复频率激光放大器  High-repetition-rate amplifier  热效应  thermal effects  固体激光  solid state laser  高功率激光驱动器  ICF, LD pumping  LD泵浦  lamp pumping  氙灯泵浦   大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统 学位论文 作者:  张栋 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2018/12/26 全息光栅  holographic grating  干涉条纹  interference fringe  相位锁定  phase locking  光栅周期  grating period