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上海光学精密机械研究... [3]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2004 [1]
学科主题
光学工程 [4]
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学科主题:光学工程
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多通道光学成像系统数据处理技术的研究
学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2004
屈有山
收藏
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2011/10/09
多通道
运动点目标
预处理
检测
识别
图像配准
小波变换
图像重建
基于迭代算法的快速相位测量技术研究
学位论文
作者:
姚玉东
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2018/12/26
相干衍射成像,相位测量,快速数据采集,光场调制,数字化调制
coherent diffractIve imaging,phase measurement,fast data acquisition, light field modulation, digital modulation
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
收藏
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浏览/下载:326/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
桌面式无掩膜光刻系统的研制
学位论文
作者:
梁鑫
收藏
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2018/12/26
桌面式光刻系统
Maskless lithography
小孔检焦系统
automatic tracking
自动跟踪系统
flatness measurement
运动平整度检测
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