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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：319/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   皮秒激光诱致多层介质膜光栅损伤研究 学位论文 作者:  郝艳飞 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/12/26 多层介质膜光栅  Pulse compressing grating  激光损伤  Laser damage  皮秒激光  Picosecond lasers  损伤增长  Damage growth  污染物  contaminant   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：269/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   大视场成像椭偏仪及其应用研究 学位论文 作者:  谷利元 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/12/26 成像椭偏仪，大视场，测量技术，超薄金属薄膜，厚度参数，表面等离子体共振  Imaging Ellipsometer，Large field of view，Measuring technology，Ultra-thin metal film，Thickness parameter，Surface Plasmon Resonance   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测   基于激光直写系统的衍射光栅制备 学位论文 作者:  王津 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2018/12/26 激光直写系统  direct laser writing system  衍射光栅  diffraction gratings  旋转达曼光栅技术  rotating Dammann grating technology