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上海光学精密机械研... [11]
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学位论文 [11]
学科主题
光学工程 [11]
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学科主题:光学工程
内容类型:学位论文
专题:上海光学精密机械研究所
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合成孔径激光成像雷达图像重构及后处理技术研究
学位论文
作者:
李光远
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2018/12/26
合成孔径激光成像雷达
Synthetic aperture laser imaging ladar
直视
Down-looking
重采样
Resampling
姿态补偿
Attitudes Compensation
惯性导航系统
Inertial Navigation System
机载
Airborne
图像重构
Image reconstruction
最优化
Optimization
自聚焦
Autofocus
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:317/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
幅频调制的远程检测及甄别
学位论文
作者:
黄灿鸿
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2018/12/26
幅频调制
FM-to-AM
波形检测
Waveform detection
光谱分析
Spectral analysis
OMP算法
OMP algorithm
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
作者:
董冠极
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
皮秒激光终端测量的关键准直技术研究
学位论文
作者:
闫世森
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/12/26
高功率激光装置
High power laser
参数测量
alignment design
准直设计
measurement control
图像处理
image analysis
高精度三维相位检测及成像技术研究
学位论文
作者:
蒋志龙
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
optical inspection
相位恢复
phase recovery
全息成像
holography imaging
强度传输方程
transport-of-intensity equation
三维成像
three dimensional imaging
高功率激光器自动准直技术研究
学位论文
作者:
李红
收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/12/26
高功率激光驱动器
High power laser facility
自动准直
Automatic alignment
图像处理
Image processing
自动控制
Automatic control
最小二值化
Binarization
耦合矩阵
Coupling matrix
浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究
学位论文
作者:
诸波尔
收藏
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浏览/下载:117/0
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提交时间:2018/12/26
浸没式光刻机
Immersion lithography tool
投影物镜
Projection lens
波像差检测
Wavefront aberration measurement
空间像
Aerial image
主成分分析
Principal component analysis (PCA)
大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统
学位论文
作者:
张栋
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2018/12/26
全息光栅
holographic grating
干涉条纹
interference fringe
相位锁定
phase locking
光栅周期
grating period
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