QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 带有新型径向电极的低g值MEMS惯性开关的研制 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  李宇 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 低g值微惯性开关  阿基米德螺旋梁  球面电极  UV-LIGA  厚度补偿   金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究 期刊论文 电子机械工程, 2018, 卷号: 34, 页码: 39-42 作者:  吕辉;  王仁彻;  严战非;  沈涛;  杜立群 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 金属微通道  厚胶膜  光刻  微电铸