| 金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究 | |
| 吕辉; 王仁彻; 严战非; 沈涛; 杜立群 | |
| 刊名 | 电子机械工程
 |
| 2018 | |
| 卷号 | 34页码:39-42 |
| 关键词 | 金属微通道 厚胶膜 光刻 微电铸 |
| ISSN号 | 1008-5300 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3249922 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.南京电子技术研究所,江苏 南京,210039 2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕辉,王仁彻,严战非,等. 金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究[J]. 电子机械工程,2018,34:39-42. |
| APA | 吕辉,王仁彻,严战非,沈涛,&杜立群.(2018).金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究.电子机械工程,34,39-42. |
| MLA | 吕辉,et al."金属微通道结构UV-LIGA精密成形技术研究".电子机械工程 34(2018):39-42. |
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