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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Development of a Novel CMUT-Based Concentric Dual-Element Ultrasonic Transducer: Design, Fabrication, and Characterization 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 538-546 作者:  Zheng, Zhou;  Na, Shuai;  Chen, Albert I. -Hsiang;  Li, Zhenhao;  Wong, Lawrence L. P. 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2018/07/30 Annular element  capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT)  concentric  deep reactive-ion etching  dual-element  hybrid transducer   Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive-ion Etching 期刊论文 SENSORS AND MATERIALS, 2018, 卷号: 30, 页码: 2747-2760 作者:  Yan, Haixia;  Bao, Jinyan;  Yu, Quan;  Dong, Linxi 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/11/26 motional resistance  electromechanical coupling  electrostatic tuning  MEMS disk resonator array  DRIE process