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科研机构
高能物理研究所 [1]
合肥物质科学研究院 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2017 [2]
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发表日期:2017
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氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计
期刊论文
High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 10, 页码: 104101
作者:
吕军光
;
高杨
;
雷强
;
赵俊武
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提交时间:2019/08/27
微传感器
氮化铝双端固支音叉
灵敏度
信号功率
硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
期刊论文
仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000
作者:
平文
;
孔德义
;
单建华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/10/26
谐振式压力传感器
敏感结构
谐振梁
硅膜
模态仿真
灵敏度
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