硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真

	硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
	平文 1; 孔德义 2; 单建华 3
刊名	仪表技术与传感器
	2017
卷号	000
关键词	谐振式压力传感器敏感结构谐振梁硅膜模态仿真灵敏度
ISSN号	1002-1841
其他题名	Design and Simulation of Sensing Structure of Silicon Resonant Pressure Sensor
英文摘要	根据双端固支梁的谐振频率求解,以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析,设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真,得到它在1个大气压下的总形变和应力分布,以及前六阶的振动模态。比较方形膜片和长方形膜片下敏感结构的仿真结果,得出相同面积下长方形膜片的灵敏度更高,检测时非线性误差更小。通过对不同厚度硅梁与硅膜下敏感结构的仿真,最终设定硅膜与硅梁的厚度分别为50μm和10μm。该传感器主要用于航空仪器仪表中对大气压的高精度检测。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:5955154
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/53673]
专题	中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位	1.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 2.中国科学院合肥智能机械研究所 3.安徽工业大学机械工程学院
推荐引用方式 GB/T 7714	平文,孔德义,单建华. 硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真[J]. 仪表技术与传感器,2017,000.
APA	平文,孔德义,&单建华.(2017).硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真.仪表技术与传感器,000.
MLA	平文,et al."硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真".仪表技术与传感器 000(2017).