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科研机构
西安交通大学 [8]
内容类型
专利 [6]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2017 [8]
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共8条,第1-8条
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发表日期:2017
专题:西安交通大学
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一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法
专利
申请日期: 2017-10-20,
作者:
赵立波
;
胡英杰
;
黄琳雅
;
李支康
;
赵玉龙
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/11/26
一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法
专利
申请日期: 2017-10-20,
作者:
赵立波
;
黄琳雅
;
胡英杰
;
李支康
;
赵玉龙
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/11/26
一种基于导电油墨的力传感器芯片及其3D打印制作方法
专利
申请日期: 2017-10-13,
作者:
赵玉龙
;
刘明杰
;
赵友
;
邵一苇
;
刘传奇
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/11/26
一种阵列悬臂梁膜结构硅微流量传感器芯片
专利
申请日期: 2017-04-26,
作者:
田边
;
李华峰
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/11/26
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片
专利
申请日期: 2017-02-22,
作者:
赵玉龙
;
李波
;
李村
;
程荣俊
;
赵建华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/11/26
一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片
专利
申请日期: 2017-01-04,
作者:
赵玉龙
;
马鑫
;
张琪
;
胡腾江
;
王鹏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/11/26
耐高温动态压力传感器与实验分析研究
期刊论文
实验流体力学, 2017, 页码: 44-50
作者:
热合曼·艾比布力
;
王鸿雁
;
薛方正
;
黄琳雅
;
皇咪咪
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/11/26
SOI倒杯式力敏芯片
高频响
齐平式
MEMS
不确定度
纳米TiO2呼吸检测微纳芯片的研制及其气敏性能研究
学位论文
2017
作者:
姚宇清
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/11/26
气体传感器
水热法
蒲公英状TiO2
MEMS工艺
集成工艺
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