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科研机构
重庆大学 [1]
微电子研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [2]
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发表日期:2016
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Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator
期刊论文
Journal of Semiconductors, 2016
作者:
Han QQ(韩茜茜)
;
Li ZG(李志刚)
;
Ou W(欧文)
;
Chen DP(陈大鹏)
;
Ye TC(叶甜春)
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提交时间:2017/04/14
薄膜体声波谐振器性能模型参数的提取方法 Method for extracting parameters of performance model of thin film bulk acoustic wave resonator
期刊论文
2016, 卷号: 28, 页码: 175-179
作者:
蔡洵[1,2]
;
高杨[2]
;
黄振华[1,3]
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提交时间:2019/11/30
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