| Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator | |
Han QQ(韩茜茜); Li ZG(李志刚) ; Ou W(欧文); Chen DP(陈大鹏); Ye TC(叶甜春)
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| 刊名 | Journal of Semiconductors
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| 2016-07-15 | |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 语种 | 英语 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16110]  |
| 专题 | 微电子研究所_系统封装与集成研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Han QQ,Li ZG,Ou W,et al. Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator[J]. Journal of Semiconductors,2016. |
| APA | Han QQ,Li ZG,Ou W,Chen DP,&Ye TC.(2016).Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator.Journal of Semiconductors. |
| MLA | Han QQ,et al."Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator".Journal of Semiconductors (2016). |
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