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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文 2016, 2016 郑明 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/06/20 光电传感器  微镜  位移和旋转  Optoelectronic sensor  micromirror  displacement and tilt   狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者:  董世则 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17 狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试   电容传感器线性度标定平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/09/17 电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵   基于FPGA的多路微位移精确监控系统设计 期刊论文 仪表技术与传感器, 2016, 页码: 56-58 作者:  张莎莎;  李慧鹏;  宋凝芳;  谭朦曦 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/30 FPGA  ADS1251  微位移  分时采集  状态机  电容传感器