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一种后栅工艺假栅的制造方法和后栅工艺假栅 专利
专利号: US9111863, 申请日期: 2015-08-18, 公开日期: 2014-06-12
作者:  李俊峰;  闫江;  赵超;  李春龙
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基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 422002
作者:  王磊;  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  杨朝兴
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