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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法 期刊论文 2015, 2015 吴健; 刘同冈; 刘帅; 商金玮 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/06/15 MEMS  平面弹簧  微小载荷  刚度标定  测量精度   Formation mechanism of multi-functional black silicon based on optimized deep reactive ion etching technique with SF6/C4F8 期刊论文 science china technological sciences, 2015 Zhu FuYun; Zhang XiaoSheng; Zhang HaiXia 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 formation mechanism  black silicon  nanocone-forest  deep reactive ion etching (DRIE)  properties characterization  OPTICAL-PROPERTIES  FABRICATION  SURFACES  SIMULATION  PLASMAS  NANOSTRUCTURES  BEHAVIOR  PROFILE  MICRO  CELLS   Fabrication and characterization of the functional parylene-C film with micro/nano hierarchical structures 期刊论文 微电子工程, 2015 Zhang, Xiao-Sheng; Su, Zong-Ming; Han, Meng-Di; Meng, Bo; Zhu, Fu-Yun; Zhang, Hai-Xia 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 Hard mask free DRIE of crystalline Si nanobarrel with 6.7nm wall thickness and 50/1 aspect ratio 其他 2015-01-01 Liu, Peng; Yang, Fang; Wang, Wei; Luo, Kui; Wang, Ying; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 A THREE-STEP MODEL OF BLACK SILICON FORMATION IN DEEP REACTIVE ION ETCHING PROCESS 其他 2015-01-01 Zhu, Fuyun; Wang, Chen; Zhang, Xiaosheng; Zhao, Xin; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/12/03 A novel MOS radiation dosimeter based on the MEMS-made oxide layer 其他 2015-01-01 Liu, H.; Yang, Y.; Zhang, J. 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 Improvement of DRIE simulation method for process development application 其他 2015-01-01 Du, Hong; Yu, Min; Qi, Lin; Zhu, Zhiyuan; Wang, Hao; Zhang, Haixia; Jin, Yufeng; Shi, Baohua; Zhang, Zhao 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/12/03 DRIE simulation  coil power  model optimization  simulator application   Improvement of DRIE simulation method for process development application 其他 2015-01-01 Du, Hong; Yu, Min; Qi, Lin; Zhu, Zhiyuan; Wang, Hao; Zhang, Haixia; Jin, Yufeng; Shi, Baohua; Zhang, Zhao 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 HARD MASK FREE DRIE OF CRYSTALLINE SI NANOBARREL WITH 6.7NM WALL THICKNESS AND 50:1 ASPECT RATIO 其他 2015-01-01 Liu, Peng; Yang, Fang; Wang, Wei; Wang, Wei; Luo, Kui; Wang, Ying; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03 FABRICATION   Fabrication and characterization of the functional parylene-C film with micro/nano hierarchical structures 其他 2015-01-01 Zhang, Xiao-Sheng; Su, Zong-Ming; Han, Meng-Di; Meng, Bo; Zhu, Fu-Yun; Zhang, Hai-Xia 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/04 Micro-electro-mechanical systems (MEMS)  Micro/nano hierarchical structures  Parylene-C  Pattern transfer  Soft lithography  DUAL-SCALE STRUCTURES  SURFACES  ELECTRONICS  SERS