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科研机构
西安交通大学 [6]
内容类型
专利 [4]
学位论文 [2]
发表日期
2015 [6]
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发表日期:2015
专题:西安交通大学
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一种浮雕式岛膜应力集中结构微压传感器芯片及制备方法
专利
申请日期: 2015-07-08,
作者:
赵立波
;
徐廷中
;
蒋庄德
;
彭年才
;
王久洪
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/02
一种分段质量块应力集中结构微压传感器芯片及制备方法
专利
申请日期: 2015-07-01,
作者:
赵立波
;
徐廷中
;
蒋庄德
;
彭年才
;
王久洪
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法
专利
申请日期: 2015-06-24,
作者:
蒋庄德
;
徐廷中
;
赵立波
;
彭年才
;
王久洪
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
一种微型钨铼薄膜热电偶温度传感器芯片及其制作方法
专利
申请日期: 2015-05-27,
作者:
田边
;
张仲恺
;
郑晨
;
蒋庄德
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/02
溅射薄膜压力传感器芯片的设计与制作
学位论文
2015
作者:
周思秀
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/02
压力传感器芯片
NiCr薄膜
敏感电阻
光刻
磁控溅射
三维微流控芯片的飞秒激光制备技术及应用
学位论文
2015
作者:
柳克银
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/02
飞秒激光湿法刻蚀
三维微流道
三维金属微线圈
被动式微混合器
高频电流传感器
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