一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法 | |
蒋庄德; 徐廷中; 赵立波; 彭年才; 王久洪; 郭鑫; 许煜; 苑国英; 赵玉龙 | |
2015-06-24 | |
DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
URL标识 | 查看原文 |
申请日期 | 2015-03-24 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 专利 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3254788 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋庄德,徐廷中,赵立波,等. 一种梁槽结合台阶式岛膜微压传感器芯片及制备方法. 2015-06-24. |
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