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长春光学精密机械与物... [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2014 [4]
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发表日期:2014
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剪切干涉仪精密相移系统的研制
期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
于长淞
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代雷
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/04/17
相移干涉
精密相移系统
压电陶瓷驱动器
柔性铰链
闭环控制
极微小电容的检测技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
冯佳
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浏览/下载:192/0
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提交时间:2015/05/03
电容传感器
电容检测
交流激励式
电容桥
开关检波
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制
期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
陈琦
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提交时间:2015/04/17
纳米定位
压电陶瓷
气浮导轨
电容微位移传感器
单极板微位移电容传感器结构设计与优化
期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 7, 页码: 63-66
作者:
李佩玥
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2015/04/17
电容传感器
电磁仿真
参数化建模
优化设计
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