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剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
于长淞; 代雷
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2015/04/17
极微小电容的检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2014
冯佳
收藏  |  浏览/下载:192/0  |  提交时间:2015/05/03
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
陈琦
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2015/04/17
单极板微位移电容传感器结构设计与优化 期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 7, 页码: 63-66
作者:  李佩玥
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2015/04/17


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