单极板微位移电容传感器结构设计与优化

	单极板微位移电容传感器结构设计与优化
	李佩玥
刊名	传感器与微系统
	2014
期号	7 页码:63-66
关键词	电容传感器电磁仿真参数化建模优化设计 CST
中文摘要	根据单极板微位移电容传感器结构优化设计的问题,提出了一种基于纵横推进法的电磁场仿真参数化建模方法。在建立合理的单极板电容传感器电磁仿真参数模型基础上,首先通过仿真实验选择保护环和绝缘层缺口的最优值。然后依据仿真得到的最优值,选择结构与最优值接近的电容传感器产品对比,取得了较好的研究结果,电容仿真值与实际测量值误差小于0.3%。最后对电容传感器极板倾斜对测量结果的影响进行了研究,极板倾斜2°时测量误差为1.6%。电容传感器结构优化结果满足实际工程要求。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43301]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李佩玥. 单极板微位移电容传感器结构设计与优化[J]. 传感器与微系统,2014(7):63-66.
APA	李佩玥.(2014).单极板微位移电容传感器结构设计与优化.传感器与微系统(7),63-66.
MLA	李佩玥."单极板微位移电容传感器结构设计与优化".传感器与微系统 .7(2014):63-66.