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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：期刊论文    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文 激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208 周连生; 于新峰; 吴志会; 芮大为; 张巍 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/04/17 光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载   光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142 陈华; 苏东奇; 隋永新; 章明朝; 田伟; 杨怀江; 张巍 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17 成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜