光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究

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	光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究
	陈华 ; 苏东奇 ; 隋永新 ; 章明朝 ; 田伟 ; 杨怀江 ; 张巍
刊名	光学学报
	2014-08-09
期号	8 页码:139-142
关键词	成像系统热像差主动补偿光刻机投影物镜
中文摘要	非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在镜片的周围加热,从而产生可控的波前变化以补偿物镜由照明引起的热像差。建立了补偿方案的理论模型,并以一片平板透镜为对象开展了实验验证,实验结果表明,补偿前后镜片的波前由12.52nm[均方根(RMS)]变化至2.95nm(RMS),表明该补偿方案是可行、有效的。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42886]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	陈华,苏东奇,隋永新,等. 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究[J]. 光学学报,2014(8):139-142.
APA	陈华.,苏东奇.,隋永新.,章明朝.,田伟.,...&张巍.(2014).光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究.光学学报(8),139-142.
MLA	陈华,et al."光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究".光学学报 .8(2014):139-142.