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微电子研究所 [5]
内容类型
专利 [4]
期刊论文 [1]
发表日期
2013 [5]
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发表日期:2013
专题:微电子研究所
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一种碳基半导体器件制备工艺中对衬底进行预处理的方法
专利
专利号: CN103456607A, 申请日期: 2013-12-18,
作者:
史敬元
;
金智
;
张大勇
;
麻芃
;
彭松昂
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/02/07
一种提高碳基半导体器件迁移率的衬底处理方法
专利
专利号: CN103441223A, 申请日期: 2013-12-11,
作者:
麻芃
;
彭松昂
;
张大勇
;
金智
;
史敬元
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2017/05/27
原子层沉积法 生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究
期刊论文
物理学报, 2013
作者:
董亚斌
;
夏洋
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2014/10/22
一种芯片表面形貌仿真的方法及装置
专利
申请日期: 2013-03-21,
作者:
徐勤志
;
陈岚
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/05/27
一种对蓝宝石晶片进行减薄的方法
专利
专利号: CN201010145284.5, 申请日期: 2013-02-06, 公开日期: 2011-10-12
作者:
庞磊
;
汪宁
;
陈晓娟
;
罗卫军
;
刘新宇
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2016/10/12
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