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北京工业大学 [2]
大连理工大学 [2]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2012 [4]
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发表日期:2012
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利用LIGA技术制作过滤介质
期刊论文
2012, 2012
蒋毅坚
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/06/16
过滤介质
LIGA技术
制作
准分子激光投影直刻微加工制作微机械
期刊论文
2012, 2012
李呈德
;
万盈
;
陈涛
;
左铁钏
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/06/16
微机电系统
准分子激光
微加工
LIGA技术
超声时效技术在微注塑模具制作中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 页码: 1250-1256
作者:
杜立群
;
李成斌
;
李永辉
;
于同敏
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/13
超声时效技术
微注塑模具
UV-LIGA工艺
SU-8光刻胶
内应力
超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响
期刊论文
光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 页码: 2006-2013
作者:
杜立群
;
刘亚萍
;
李永辉
;
李成斌
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/13
超声处理
SU-8光刻胶
溶胀
电铸
UV-LIGA
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