| 超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响 | |
| 杜立群; 刘亚萍; 李永辉; 李成斌 | |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 2012 | |
| 卷号 | 20页码:2006-2013 |
| 关键词 | 超声处理 SU-8光刻胶 溶胀 电铸 UV-LIGA |
| ISSN号 | 1004-924X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4664732 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连,116024 2.大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连,116024 3.大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,辽宁大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜立群,刘亚萍,李永辉,等. 超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响[J]. 光学精密工程,2012,20:2006-2013. |
| APA | 杜立群,刘亚萍,李永辉,&李成斌.(2012).超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响.光学精密工程,20,2006-2013. |
| MLA | 杜立群,et al."超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响".光学精密工程 20(2012):2006-2013. |
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