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北京大学 [2]
微电子研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
其他 [2]
专利 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [4]
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发表日期:2012
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HBT工艺中介质平面平坦化的方法
专利
专利号: CN200810104228.X, 申请日期: 2012-01-25, 公开日期: 2009-10-21
作者:
金智
;
刘新宇
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/11/26
一种微机械结构与集成电路单片集成的加工方法
其他
2012-01-01
杨振川
;
闫桂珍
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/13
一种不等高硅结构与集成电路的单片集成加工方法
其他
2012-01-01
杨振川
;
闫桂珍
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响
期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 4, 页码: 267-270
张泽芳
;
刘卫丽
;
宋志棠
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2013/02/22
多晶金刚石
三乙醇胺
分散剂
蓝宝石
研磨
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