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HBT工艺中介质平面平坦化的方法 专利
专利号: CN200810104228.X, 申请日期: 2012-01-25, 公开日期: 2009-10-21
作者:  金智;  刘新宇
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一种微机械结构与集成电路单片集成的加工方法 其他
2012-01-01
杨振川; 闫桂珍; 郝一龙
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一种不等高硅结构与集成电路的单片集成加工方法 其他
2012-01-01
杨振川; 闫桂珍; 郝一龙
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不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 4, 页码: 267-270
张泽芳; 刘卫丽; 宋志棠
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