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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2012    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al_2O_3介质薄膜研究 期刊论文 无机材料学报, 2012, 期号: 9, 页码: 956-960 张有为; 万里; 程新红; 王中健; 夏超; 曹铎; 贾婷婷; 俞跃辉 收藏  |  浏览/下载：100/0  |  提交时间：2013/02/22 石墨烯  原子层沉积  Al2O3薄膜   不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响 期刊论文 半导体技术, 2012, 期号: 4, 页码: 267-270 张泽芳; 刘卫丽; 宋志棠 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2013/02/22 多晶金刚石  三乙醇胺  分散剂  蓝宝石  研磨