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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 王志迁 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/07/27 原子力显微镜  纳米管道  纳流控  微流控  阳极键合   一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102176637A, 申请日期: 2011-09-07, 公开日期: 2011-09-07 李伟; 车录锋; 王鹏; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/06 基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2011 杨振川; 吕佳楠; 闫桂珍; 陈敬 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 干法刻蚀 氮化镓(GaN) MEMS dry etching gallium nitride (GaN) MEMS   基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能