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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2011     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/06 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文 光学精密工程, 2011, 期号: 08 李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/04/13 微光机电系统  多台阶平板  平行平板  静电驱动  微镜阵列  高占空比