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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法 专利 申请日期: 2011-12-12, 公开日期: 2012-11-20 作者:  夏洋;  李超波;  汪明刚 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/11/20