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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2011 杨振川; 吕佳楠; 闫桂珍; 陈敬 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 干法刻蚀 氮化镓(GaN) MEMS dry etching gallium nitride (GaN) MEMS