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科研机构
大连理工大学 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2011 [1]
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发表日期:2011
内容类型:会议论文
专题:大连理工大学
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脉冲调制SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱研究
会议论文
第十五届全国等离子体科学技术会议, 中国安徽黄山, 2011-08-08
作者:
张鹏云
;
王华强
;
张娇
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提交时间:2019/12/18
气体放电
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调制参数
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