| 脉冲调制SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱研究 | |
| 张鹏云; 王华强; 张娇 | |
| 2011 | |
| 会议名称 | 第十五届全国等离子体科学技术会议 |
| 会议日期 | 2011-08-08 |
| 会议地点 | 中国安徽黄山 |
| 关键词 | 气体放电 激发温度 脉冲调制 放电参数 占空比 调制频率 调制参数 相对强度 混合气体 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十五届全国等离子体科学技术会议
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4821918 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张鹏云,王华强,张娇. 脉冲调制SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱研究[C]. 见:第十五届全国等离子体科学技术会议. 中国安徽黄山. 2011-08-08. |
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