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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
专利 [2]
发表日期
2010 [2]
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发表日期:2010
专题:上海微系统与信息技术研究所
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专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101770165A, 申请日期: 2010-07-07, 公开日期: 2010-07-07
刘彦伯
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提交时间:2012/01/06
一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101655576, 申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2010-02-24
杨志峰
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方娜
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武爱民
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王曦
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提交时间:2012/01/06
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