| 一种压印模板 | |
| 刘彦伯 ; 钮晓鸣 ; 宋志棠 ; 闵国全 ; 周伟民 ; 张静 ; 万永中 ; 张挺 ; 李小丽 ; 张剑平 ; 施利毅 ; 刘波 ; 封松林 | |
| 2010-07-07 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101770165A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 上海市纳米科技与产业发展促进中心 ; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明提供一种廉价的压印模板，属于微纳制造领域。其特征在于：在硬质基底表面覆盖图形化材料层，先将图形化材料层图形化，然后对图形化表面修饰处理，之后直接用作压印模板。这种压印硬模板制作方法与目前常用的电子束直写等技术方法相比，具有成本低、周期短、工艺简单的显著特点。可以广泛应用于纳米级、高密度表面纳米结构加工与研究中，在半导体照明、高密度存储等领域前景广阔。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2010-07-07 |
| 申请日期 | 2009-01-06 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910044950.3 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49340]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘彦伯,钮晓鸣,宋志棠,等. 一种压印模板. CN101770165A. 2010-07-07. |
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