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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2010    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于等离子体的聚合物微纳流控芯片制作研究 会议论文 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会, 中国上海, 2010-08-01 作者:  王俊尧 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 流控  等离子体刻蚀  射频功率  真空度  线性关系  表面改性  应用研究  离子富集  变形率  热键