| 基于等离子体的聚合物微纳流控芯片制作研究 | |
| 王俊尧 | |
| 2010 | |
| 会议名称 | 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会 |
| 会议日期 | 2010-08-01 |
| 会议地点 | 中国上海 |
| 关键词 | 流控 等离子体刻蚀 射频功率 真空度 线性关系 表面改性 应用研究 离子富集 变形率 热键 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4855829 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊尧. 基于等离子体的聚合物微纳流控芯片制作研究[C]. 见:2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会. 中国上海. 2010-08-01. |
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