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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2009 [3]
学科主题
光学薄膜 [1]
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发表日期:2009
专题:上海光学精密机械研究所
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光学薄膜应力表征及其与微观结构的关系
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
肖祁陵
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浏览/下载:205/0
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提交时间:2016/11/28
残余应力
薄膜
形成机理
X射线衍射
应力测量
微观结构
光学薄膜应力演化与面形控制
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
方明
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浏览/下载:82/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
面形
应力实时测量
应力演化
薄膜厚度分布
牺牲层
Thermal-mechanical modeling of nodular defect embedded within multilayer coatings
期刊论文
j. vac. sci. technol. a, 2009, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 183, 186
Ling Xiulan
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:650/139
  |  
提交时间:2009/09/22
dielectric thin films
evaporation
high-temperature effects
laser beam effects
optical multilayers
thermal stresses
thermomechanical treatment
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